Fluorinated SiC CVD
- Författare
- Linköpings universitet Pontus Stenberg
- (Pontus Stenberg., Härtill 5 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2017, Med populärvetenskaplig sammanfattning på svenska)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linköping University | 2017 | Sverige, Linköping | xvi, 43 sidor. ill. | 978-91-7685-591-1 |